南大光电（淄博）有限公司电子产品用高纯六氟化硫技术改造项目 环境影响报告书 公示

一、项目概况

山东飞源科技有限公司成立于 2015 年 4 月，位于省政府认定的高青化工产业园范围内， 公司主要产品有电子级六氟化硫、电子级三氟化氮、氢氟酸等。 山东飞源科技有限公司于 2019 年 5 月 5 日召开临时股东会议，审议通过了《关于同意 山东飞源科技有限公司存续分立的议案》，全体股东一致同意山东飞源科技有限公司进行存 续分立，分立后山东飞源科技有限公司继续存续，并于 2019 年 7 月 10 日注册成立山东飞 源气体有限公司。分立完成后，山东飞源气体有限公司承接山东飞源科技有限公司除贸易 业务外的其余全部业务。江苏南大光电材料股份有限公司控股收购了山东飞源气体有限公 司。因发展需要，山东飞源气体有限公司于 2023 年 4 月更名为南大光电（淄博）有限公司 （以下简称“南大光电”），企业名称变更登记已于 2023 年 4 月 24 日经高青县行政审批服 务局批准。 南大光电现有南北两个厂区，一路之隔，南厂区现有 30 吨/年六氟丁二烯及附属设施 项目，其他项目均在北厂区内。 南大光电北厂区现有 3000t/a 六氟化硫装置，包含 2 座电解车间和 1 座后处理装置， 其中 1#六氟化硫电解车间为 2000t/a 六氟化硫装置，2#六氟化硫电解车间为 1000t/a 六氟 化硫装置；两座电解车间共用一套六氟化硫后处理装置。1#六氟化硫电解车间于 2015 年投 产运行，2#六氟化硫电解车间于 2021 年投产运行。 为了提高 1#六氟化硫电解车间的生产效率，降低生产成本，需要对电解槽进行更新。 南大光电（淄博）有限公司拟投资 1300 万元，在现有 1#六氟化硫电解厂房内及六氟化硫 后处理装置内进行技改。将 1#六氟化硫电解厂房内现有 80 台 24 块极板电解槽更换为 35 块极板电解槽，同时新增 6 台 35 块极板电解槽，电子级六氟化硫电解产能增加 600 吨/年， 技改后 1#电解车间产能扩增至 2600 吨/年；在六氟化硫后处理装置框架内，新增 2 台精馏 塔、1 台捕集冷凝器、1 台碱洗塔、高压吸附塔 10 台，后处理能力增加 1500 吨/年，技改 后总处理能力扩增至 4500 吨/年；氢氟酸产能增加 64 吨/年,技改后总产能扩增至 277 吨/ 年。增加 1 台成品槽和 1 台充装泵，环保措施、储运及公辅工程均依托现有工程。 技改后，1#六氟化硫电解车间内电解产能新增 600t/a，为 2600 吨/年，全厂六氟化硫 电解产能为 3600 吨/年。

二、分析判定情况

本项目生产的电子级六氟化硫属于特种电子气体，主要用于电子行业半导体的清洗和 蚀刻气，属于《产业结构调整指导目录（2024 年本）》中“鼓励类”，十一、石化化工 7、 专用化学品：低 VOCs 含量胶粘剂，环保型水处理剂，新型高效、环保催化剂和助剂，功 能性膜材料，超净高纯试剂、光刻胶、电子气体、新型显示和先进封装材料等电子化学品 及关键原料的开发与生产中的电子气，符合国家产业政策要求。本项目已取得建设项目备 案证明，项目代码 2301-370300-89-02-370257。 技改项目位于高青化工产业园内，该园区属于山东省政府认定的第三批化工园区，园 区功能定位为做大做强氟材料、硼材料、其他新型材料为主的新材料产业，壮大以化学合 成原料药及其中间体、化学助剂等为主的精细与专用化学品产品，培育配套的化学原料产 业。技改项目属于氟材料，符合园区产业发展规划；技改项目用地类型为三类工业用地， 符合园区土地利用规划。根据《高青县国土空间总体规划（2021-2035 年）》，南大光电现 有厂区位于城镇开发边界内，不占用永久基本农田和生态保护红线。 本项目符合《淄博市生态环境委员会办公室关于印发<淄博市 2023 年生态环境分区管 控成果动态更新项目生态环境准入清单>的通知》中高青化工产业园的生态环境分区管控要 求。 根据项目工程分析，技改项目有组织废气主要为电解阴极废气、电解阳极废气、精馏 塔不凝气、活化废气、氟化氢卸车废气、氢氟酸储罐废气。主要污染物为氟化物。无组织 废气主要为电解车间及后处理装置区无组织排放的氟化物等。项目废水包括碱洗塔废水、 除水系统废水、地面冲洗废水、生活污水、循环排污水、初期雨水等。技改项目噪声主要 来自泵类等设备。项目固废主要为废碳板、废电解质、废吸附剂、废包装、废润滑油、污 泥、结晶盐、生活垃圾等。 根据项目工程分析情况、周边环境特征以及相关环评技术导则，确定环境空气的评价 等级为一级，地表水评价等级为三级 B，地下水评价等级为二级，声环境评价等级为三级， 环境风险评价等级为一级，土壤评价等级为一级，生态影响简单分析。

三、关注的主要环境问题及环境影响

1、关注的主要环境问题

根据项目的特点，本次评价主要关注的环境问题包括：

（1）技改项目的污染防治措施和环境管理，关注技改项目所采用的污染防治技术措施 是否能实现达标排放要求，重点关注氟化物的全过程防控与末端治理问题。

（2）关注大气环境影响的可接受性。项目位于高青化工产业园，最近敏感点为程家村（NNW，1170m），重点关注大气污染物排放对周边近距离敏感点的影响。

（3）关注项目地下水及土壤的相关污染防治措施。

（4）关注项目的环境风险防范措施可行性。

2、技改项目的主要环境影响

（1）环境空气影响

电解阴极废气经管道密闭收集进入尾气处理系统，经现有两级水洗+一级碱洗处理后经 高 25m 排气筒（DA001）排放。精馏塔不凝气经一级深冷（液氮-60℃）后与电解阳极废气、活化废气经现有两级水洗+一级碱洗后经高 25m 排气筒（DA006）排放。氟化氢卸车废气、 氢氟酸储罐呼吸废气经管道密闭收集进入尾气处理系统，经现有四级水洗+一级碱洗后经高15m 的排气筒（DA016）排放。

上述各排气筒排放的氟化物排放浓度均满足《无机化学工业污染物排放标准》 （GB31572-2015）表 4 标准（氟化物 3.0mg/m 3）。

技改项目无组织废气主要为电解车间及后处理装置区无组织排放的废气，主要污染物 为氟化物。企业通过加强管理、采用密闭物料输送方式后，氟化物厂界浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB31572-2015）表 5 标准要求。

技改项目位于不达标区，超标因子为颗粒物，技改项目不涉及颗粒物的排放。技改项目新增污染源正常工况排放下各污染物短期浓度贡献值最大浓度占标率均小于100%，叠加值满足环境质量标准要求。

（2）水环境影响

技改项目废水主要为碱洗塔废水、除水系统废水、地面冲洗废水、生活污水、循环排污水、初期雨水。

除水系统废水回用于六氟化硫后处理装置的水洗塔，循环排污水经配套的电渗析装置处理后回用于循环水补水，碱洗塔废水、地面冲洗废水、生活污水、初期雨水进入厂区污水处理站处理达标后排入南岳水务有限公司污水处理厂，最终排入支脉河。项目外排废水水质满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表 1 及区域污水处理厂进水水质要求，排入淄博南岳水务有限公司污水处理厂进一步处理后排入支脉河。项目废水不直 接排入地表水体，对周围地表水环境影响较小。

项目正常生产过程中产生的污水及事故状态下污水全部经封闭管道收集；各涉水环节均采取了有效的防渗措施。在严格落实防渗措施的条件下，本项目对地下水环境影响风险较小，综合考虑地区水文地质条件、地下水保护目标等因素，该项目的建设对地下水环境影响较小，并且建立完善的地下水监测系统后，本项目运行对地下水污染的风险可控。

（3）声环境影响

项目主要噪声源为泵类等设备，在采取降噪措施并经距离衰减后，厂界噪声满足《工 业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的 3 类区标准（昼间 65 dB(A)、夜间 55 dB(A)）。

（4）固体废物环境影响

项目固废主要为废碳板、废电解质、废吸附剂、废包装、废润滑油、污泥、结晶盐、 生活垃圾等。生活垃圾由环卫部门清运，废碳板、污泥综合利用，其他均为危险废物，委托有资质单位处置。各类固废均得到妥善处理。

（5）土壤

项目厂区及周边区域目前土壤环境质量良好；在严格落实土壤环境保护措施的条件下， 本项目对土壤环境影响较小。

（6）环境风险

在落实三级防控体系等方面的风险防范措施及应急预案要求后，项目环境风险水平可接受，工程风险能够得到有效控制。

（7）防护距离

本项目不需设置大气环境防护距离。