电子特种气体又可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、蚀刻用气、化学汽相沉淀用气、载运和稀释气体等几大类，种类繁多，在半导体工业中应用的有110余种电子气体，常用的有20-30种。

    现在的电子半导体技术对于产品的性能和参数要求极其苛刻，对产品的制造环境要求极其严格，随着半导体制程精密化程度越来越高，对特气的纯度要求也相应提升，以维持芯片表面的洁净度，提升产品良率，因此对特种气体在掺杂、保护、注入等方面的应用需求很大。

    全球角度来看，2015年全球集成电路用电子特种气体的市场规模为35亿美元，过去几年一直保持稳定，预计2017年的市场规模与2015年基本一致。在市场格局方面，由于电子特种气体对纯度要求极高，掌握高纯工艺、大规模量产的公司主要集中于欧美日的几家巨头公司，2014年美国气体化工、法国液化空气、日本酸素、普莱克斯和林德集团合计全球份额达到94%。

    2012-2017年全球集成电路用电子特种气体市场规模

    数据来源：公开资料整理

    相关报告：智研咨询发布的《2017-2022年中国电子特种气体市场深度评估及投资前景评估报告》

    截止2016年底，国内方面电子特种气体行业集中度高，美国空气化工(APCI)、普莱克斯、日本昭和电工、英国BOC公司（已被德国林德集团收购）、法国液化空气、日本酸素这六家公司合计占据了我国电子特种气体85%的市场份额。

    2015年中国电子特种气体市场份额情况

    根据统计，截止2015年底，我国共有特种气体生产企业150余家，但多数企业生产规模较小。近年来，随着国家对半导体产业的支持力度不断加大，02专项等科研项目推动中国本土的电子特种气体产品水平不断提升。